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  • 集成电路与光刻机

    集成电路与光刻机

    王向朝等  /  2020-08-28  /  科学出版社
    ¥43.5(7.5折)定价:¥58.0

    光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。《集成电路与光刻机》介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；*后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步...

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  • 光刻机像质检测技术(上册)

    光刻机像质检测技术(上册)

    王向朝，戴凤钊等著  /  2021-03-01  /  科学出版社
    ¥195.9(7.9折)定价:¥248.0

    本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术, 详细介绍了本团队提出的系列新技术, 涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术, 包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、执像差等像质检测技术...

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