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关于“王向朝，戴凤钊等著”检索到 共2种现货商品
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光刻机像质检测技术(上册)
¥195.9(7.9折)定价:¥248.0本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术, 详细介绍了本团队提出的系列新技术, 涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术, 包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、执像差等像质检测技术...
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光刻机像质检测技术．下册
¥171.0(7.5折)定价:¥228.0本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术, 详细介绍了本团队提出的系列新技术, 涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术, 包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主, 也介绍了投影物镜的离线像质检测技术, 涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术
