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SOI——纳米技术时代的高端硅基材料
¥35.2(4折)定价:¥88.0本书收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇,主要内容包括:SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展,SOI新材料的制备科学,SOI材料与器件特有的物理效应,绝缘体上锗硅(silicon germanium on insulator,SGOI)新结构和应变硅的制备科学,SOI技术的若干...
本书收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇,主要内容包括:SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展,SOI新材料的制备科学,SOI材料与器件特有的物理效应,绝缘体上锗硅(silicon germanium on insulator,SGOI)新结构和应变硅的制备科学,SOI技术的若干...
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