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    新型共路干涉仪

    杨甬英  /  2020-08-01  /  浙江大学出版社
    ¥115.4(7.8折)定价:¥148.0

    作者全面介绍了目前在靠前外高科技领域应用的横向及径向剪切干涉仪、点衍射干涉仪、双焦干涉仪、米勒干涉仪、各种波前干涉传感器等各种新型共路干涉仪干涉理论，并着重介绍在大规模集成电路光刻物镜波前检测中的各种丰富的共路干涉仪的光学系统及波前解调技术。本书可作为适合于靠前外从事光学工程的科技人员、高校师生参考用书...

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