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新型共路干涉仪 版权信息
- ISBN:9787308185714
- 条形码:9787308185714 ; 978-7-308-18571-4
- 装帧:一般胶版纸
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>>
新型共路干涉仪 内容简介
作者全面介绍了目前在靠前外高科技领域应用的横向及径向剪切干涉仪、点衍射干涉仪、双焦干涉仪、米勒干涉仪、各种波前干涉传感器等各种新型共路干涉仪干涉理论,并着重介绍在大规模集成电路光刻物镜波前检测中的各种丰富的共路干涉仪的光学系统及波前解调技术。本书可作为适合于靠前外从事光学工程的科技人员、高校师生参考用书。
新型共路干涉仪 目录
1 光学干涉理论基础
1.1 光的衍射
1.1.1 标量衍射理论
1.1.2 矢量衍射理论
1.1.3 电磁场的数值计算方法
1.2 光的干涉
1.2.1 单色平面波确定光场
1.2.2 空间和时间展宽的随机光场
1.2.3 相干时间与相干区域
1.2.4 随机波动方程
1.2.5 随机场相关的确定信号
1.2.6 vanCittert-Zernike定理
1.3 相位解包裹技术
1.3.1 一维相位解包裹
1.3.2 Goldstein枝切法
1.3.3 基于可靠性排序的路径无关快速相位解包裹技术
1.3.4 差分整平相位解包裹技术
1.4 波前质量评价
1.4.1 Zernike多项式
1.4.2 Zernike多项式波面拟合
1.4.3 Zernike多项式与光学像差的对应关系
参考文献
2 点衍射干涉仪
2.1 概述
2.2 光的衍射
2.2.1 点衍射波前质量的仿真分析
2.2.2 针孔衍射仿真的建模与计算
2.2.3 针孔衍射研究进展
2.3 传统点衍射干涉仪
2.3.1 光栅相移点衍射干涉仪
2.3.2 偏振相移点衍射干涉仪
2.3.3 传统相移光纤点衍射干涉仪
2.3.4 斜面光纤点衍射干涉仪
2.3.5 双光纤点衍射干涉仪
2.4 针孔点衍射干涉面形检测系统
2.4.1 高精度点衍射球面干涉检测系统布局
2.4.2 对比度可调的点衍射球面面形检测系统
2.4.3 系统误差分析及消除方法
2.5 点衍射定量相位成像技术
2.5.1 衍射相位显微镜系统布局
2.5.2 点衍射定量相位成像技术的应用
参考文献
……
3 横向剪切干涉测试技术
4 多波前剪切干涉仪
5 瞬态波前检测
6 其他共路干涉仪
索引
1.1 光的衍射
1.1.1 标量衍射理论
1.1.2 矢量衍射理论
1.1.3 电磁场的数值计算方法
1.2 光的干涉
1.2.1 单色平面波确定光场
1.2.2 空间和时间展宽的随机光场
1.2.3 相干时间与相干区域
1.2.4 随机波动方程
1.2.5 随机场相关的确定信号
1.2.6 vanCittert-Zernike定理
1.3 相位解包裹技术
1.3.1 一维相位解包裹
1.3.2 Goldstein枝切法
1.3.3 基于可靠性排序的路径无关快速相位解包裹技术
1.3.4 差分整平相位解包裹技术
1.4 波前质量评价
1.4.1 Zernike多项式
1.4.2 Zernike多项式波面拟合
1.4.3 Zernike多项式与光学像差的对应关系
参考文献
2 点衍射干涉仪
2.1 概述
2.2 光的衍射
2.2.1 点衍射波前质量的仿真分析
2.2.2 针孔衍射仿真的建模与计算
2.2.3 针孔衍射研究进展
2.3 传统点衍射干涉仪
2.3.1 光栅相移点衍射干涉仪
2.3.2 偏振相移点衍射干涉仪
2.3.3 传统相移光纤点衍射干涉仪
2.3.4 斜面光纤点衍射干涉仪
2.3.5 双光纤点衍射干涉仪
2.4 针孔点衍射干涉面形检测系统
2.4.1 高精度点衍射球面干涉检测系统布局
2.4.2 对比度可调的点衍射球面面形检测系统
2.4.3 系统误差分析及消除方法
2.5 点衍射定量相位成像技术
2.5.1 衍射相位显微镜系统布局
2.5.2 点衍射定量相位成像技术的应用
参考文献
……
3 横向剪切干涉测试技术
4 多波前剪切干涉仪
5 瞬态波前检测
6 其他共路干涉仪
索引
展开全部
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