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关于“HongXiao(萧宏)”检索到   共1种现货商品
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  • 半导体制造技术导论(第二版)

    HongXiao(萧宏)  /  2022-07-01  /  电子工业出版社
    ¥69.3(7折)定价:¥99.0

    本书共包括15章: 第1章概述了半导体制造工艺; 第2章介绍了基本的半导体工艺技术; 第3章介绍了半导体器件、 集成电路芯片, 以及早期的制造工艺技术; 第4章描述了晶体结构、 单晶硅晶圆生长, 以及硅外延技术; 第5章讨论了半导体工艺中的加热过程;第6章详细介绍了光学光刻工艺;第7章讨论了半导体制造过程中使用的等离子体理论; 第8章讨论了离子注入工艺; 第9章详细介绍了刻蚀工艺; 第10章介绍了基本的化学气相沉积(CVD)和电介质薄

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