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关于“(澳）丁东安等著；王兴华等...”检索到 共1种现货商品
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高温SiC MEMS传感器的热电特性
¥66.0(7.5折)定价:¥88.0近年来，以碳化硅为功能材料的微机电系统（MEMS）传感器研制取得重大进展。本书主要介绍了碳化硅热电效应基本原理和相关背景，综述了碳化硅材料的生长、特性及加工工艺，讨论了热电式碳化硅传感器的理想特性及高温MEMS传感器近期新发展，相关研究可为开发基于热电效应的碳化硅基MEMS传感器提供重要指...
