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  • TSV 3D RF Integration:HR-Si Interposer Technology

    马盛林  /  2022-01-01  /  化学工业出版社
    ¥214.6(7.2折)定价:¥298.0

    三维射频集成应用是硅通孔(TSV)三维集成技术的重要应用发展方向。随着5G与毫米波应用的兴起,基于高阻硅TSV晶圆级封装的薄膜体声波谐振器(FBAR) 器件、射频微电子机械系统(RF MEMS)开关器件等逐渐实现商业化应用,TSV三维异质射频集成逐渐成为先进电子信息装备领域工程化应用的关键技术。 本书全面阐述面向三维射频异质集成应用的高阻硅TSV转接板技术,包括设计、工艺、电学特性评估与优化等研究,从TSV、共面波导传输线(CPW)

  • TSV三维集成理论技术与应用

    金玉丰//马盛林  /  2022-09-01  /  科学出版社
    ¥141.0(7.5折)定价:¥188.0

    后摩尔时代将硅通孔(through silicon via,TSV)技术等优选集成封装技术作为重要发展方向。本书系统介绍作者团队在TSV三维集成方面的研究工作,包括绪论、TSV工艺仿真、TSV工艺、TSV三维互连电学设计、三维集成微系统的热管理方法、三维集成电学测试技术、TSV转接板技术、TSV三维集成应用、发展趋势。为了兼顾全面性、系统性,本书综述国内外相关技术进展。 以期为集成电路专业高年级本科生、研究生及相关领域工程技术

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