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新型微机电系统与器件
¥35.3(7.2折)定价:¥49.0本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统,全书共分七章,主要内容包括:近年来微机电系统的发展,MEMS惯性器件及系统的原理、工艺、最新发展,回音壁模式微腔器件及系统,典型水声传感器件及系统,典型高温压力传感器件及系统,最新的量子传感器件及系统,柔性传感器件及系统...