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多尺度模拟方法在半导体材料位移损伤研究中的应用
¥112.5(7.5折)定价:¥150.0本书从位移损伤的概念和特点入手，引入位移损伤缺陷的产生及演化模拟研究所涉及的模拟方法，系统介绍了不同尺度的模拟方法，包括辐射与材料相互作用模拟方法、分子动力学方法、动力学蒙特卡罗方法、第一性原理方法、器件电学性能模拟方法等，并分别给出了多尺度模拟方法在硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓材料位移损伤研究中的应用，实例展示多尺度模拟方法的具体应用，期望帮助相关科研人员掌握多尺度模拟方法。本书不同于多尺度模拟方法的简单教程，通过多尺度模拟研究揭示出
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