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关于“蒋永刚主编”检索到 共1种现货商品
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微机电系统工程基础
¥22.6(5.8折)定价:¥39.0本书循序渐进，体系严密，概括了基本传感原理和制造方法，讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识，描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器，详细介绍了微制造中常用的体微机械加工和表面微机械加工技术...
