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关于“苑伟政，乔大勇，虞益挺编著”检索到 共1种现货商品
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微机电系统
¥54.5(7.9折)定价:¥69.0《微机电系统（第2版 微机电系统工程系列教材）》是在教育部对研究生推荐教材《微机械与微细加工技术》的基础上，结合微机电系统（MEMS）领域新的研究成果编著而成的。全书分为6章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，该书结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究
