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关于“王琪民刘明侯”检索到 共1种现货商品
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微机电系统工程基础
¥12.2(3.2折)定价:¥38.0本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章，较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识，分析了微系统中的工程特点等...
