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  • 新书--硅基集成芯片制造工艺原理(精装)

    李炳宗  /  2021-11-01  /  复旦大学出版社
    ¥252.9(8.5折)定价:¥298.0

    自1958年集成电路诞生以来,硅基集成芯片制造技术迅速发展,现今已经进入亚5nm时代。硅基芯片制造技术可以概括为一系列微细加工硅片技术,这些愈益精密的微细加工技术持续创新与升级,源于20世纪初以来现代物理等物质科学知识的长期积累。充分了解各种微细加工技术背后的科学原理,是理解和掌握集成芯片制造工艺技术的基础。 全书共20章。前8章概述硅基集成芯片从小规模到极大规模集成的创新演进路径,分析集成芯片制造技术快速升级换代的独特规律,研判

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