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  • 纳米多孔GAN基薄膜的制备及其特性研究

    曹得重  /  2023-06-01  /  科学出版社
    ¥73.5(7.5折)定价:¥98.0

    本书采用有机金属化学气相沉积、电化学刻蚀、再生长、转移等技术,制备出一系列纳米多孔GaN(NP-GaN)基功能薄膜,并对其特性和相关应用进行了系统地研究。在研究中发现,氮化镓基薄膜纳米结构具有丰富的物理性质,而采用合适的技术和工艺,可以制备出高性能的新型微纳器件。然而关于纳米多孔GaN基薄膜的专著较少,本书弥补了这一领域的空白,详细介绍了多种设计和研制稳定、高效的GaN基微纳光电器件的途径,为新型微纳器件的设计奠定了基础...

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