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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用
¥101.4(6折)定价:¥169.0本书主要针对可见光、红外、太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构,开展新的设计、工艺制作和测试评估方法研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础,有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法,建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系...
本书主要针对可见光、红外、太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构,开展新的设计、工艺制作和测试评估方法研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础,有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法,建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系...
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