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关于“孙以材,庞冬青”检索到 共1种现货商品
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微电子机械加工系统技术基础
¥14.3(5.5折)定价:¥26.0mems技术是21世纪发展的重大技术，涉及国防、航天、医疗等领域。本书以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的，阐述其功能，所依据的物理原理及定律。本书还详细介绍了电学，热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法。阅读本书，可以为mems元件的设计和制造打下较好的基础，从而可以灵活应用所学知识。 本书可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读，也可供大专院校有关专业师生参考...
