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关于“夏洋，解婧，陈宝钦”检索到 共1种现货商品
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微电子工艺与装备技术
¥71.3(8.1折)定价:¥88.0本书重点介绍半导体集成电路制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。本书力求让学生在了解集成电路制作基本原理与方法的基础上，紧密地联系生产实际，方便地理解这些原本复杂的工艺和流程，从而系统掌握半导体集成电路制造技术。在此基础上，结合相关课程培养学生掌握集成电路相关专业所必需的基础知识、基本理论和基本实验技能，有助于学生理解这些原本复杂的工艺和流程，为集成电路及半导体工艺
