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氧化镓半导体器件
¥98.6(7.7折)定价:¥128.0本书主要介绍近几年发展较快的氧化镓半导体器件。氧化镓作为新型的超宽禁带半导体材料,在高耐压功率电子器件、紫外光电探测器件等方面都具有重要的应用前景。本书共分为7章,第1-4章(氧化镓材料部分)介绍了氧化镓半导体材料的基本结构,单晶生长和薄膜外延方法,电学特性,氧化镓材料与金属、其他半导体的接触,氧化镓材料的刻蚀、离子注入、缺陷修复等内容;第5-7章(氧化镓器件部分)介绍了氧化镓二极管器件的应用方向、器件类型及其发展历程,氧化镓场效应晶