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科技史

微纳米加工技术及其应用(第四版)

作者：崔铮

出版社：高等教育出版社出版时间：2020-10-01

开本： 16开 页数： 564

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版权信息
内容简介

微纳米加工技术及其应用(第四版) 版权信息

ISBN：9787040543025
条形码：9787040543025 ; 978-7-04-054302-5
装帧：一般胶版纸
册数：暂无
重量：暂无
所属分类：
自然科学
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科技史

微纳米加工技术及其应用(第四版) 内容简介

本书集作者多年来的实践经验与研究成果，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。第四版在内容上反映了集成电路芯片加工技术的进步，不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。

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