Õ½Êõµ¼µ¯ÖƵ¼Óë¿ØÖƲ¿¼þ

µÚ1ÕÂÐ÷ÂÛ 1.1ÖƵ¼Óë¿ØÖÆϵͳ×é³É 1.2²¿¼þ²úÆ·µÄ¡°Áù¡±Óë¡°Èý»¯¡± ²Î¿¼ÎÄÏ× µÚ2Õ¹ßÆ÷¼þ ¼ÓËٶȼƸÅÊö 2.2¼ÓËٶȼƵÄÖ÷ÒªÖ¸±ê ¼ÓËٶȼƵķÖÀà? 2.3.1ÖØ´¸Ê½¼ÓËÙ¶È¼Æ Òº¸¡Ê½¼ÓËÙ¶È¼Æ ÄÓ°Úʽ¼ÓËÙ¶È¼Æ 2.3.4¾²µçÐü¸¡¼ÓËÙ¶È¼Æ 2.3.5 MEMS ¼ÓËÙ¶È¼Æ 2.3.6Á¿×Ó¼ÓËÙ¶È¼Æ 2.4ÍÓÂÝÒǸÅÊö ÍÓÂÝÒǵÄÖ÷ÒªÖ¸±ê 2.6ÍÓÂÝÒǵķÖÀà 2.6.1»úеת×ÓÍÓÂÝÒÇ? ¹âѧÍÓÂÝÒÇ MEMSÍÓÂÝÒÇ °ëÇòгÕñÍÓÂÝÒÇ ºË´Å¹²ÕñÍÓÂÝÒÇ 2.6.6Ô­×Ó¸ÉÉæÍÓÂÝÒÇ 2.7¹ßÆ÷¼þµÄ·¢Õ¹Ç÷ÊÆ ²Î¿¼ÎÄÏ× µÚ3Õµ¼º½ÏµÍ³ 3.1¹ßµ¼º½ 3.1.1¹ßµ¼º½¸ÅÊö ¹ßµ¼º½µÄ·¢Õ¹ ¹ßµ¼º½µÄ·ÖÀà 3.1.4½ÝÁªÊ½¹ßµ¼º½Ô­Àí 3.1.5¹ßµ¼º½Îó²îÄ£ÐÍ. 3.1.6¹ßµ¼º½µÄ³õʼ¶Ô×¼ 3.2ÎÀÐǵ¼º½ 3.2.1ÎÀÐǵ¼º½µÄ·¢Õ¹ 3.2.2È«ÇòÎÀÐǵ¼º½ÏµÍ³ 3.2.3ÎÀÐǵ¼º½ÔÚÖƵ¼ÎäÆ÷ÖеÄÓ¦Óà 3.2.4ÎÀÐǵ¼º½µÄÔ­Àí¼°¹¹³É 3.2.5ÎÀÐǶ¨Î»µÄ»ù±¾Ô­Àí 3.2.6ÎÀÐǵ¼º½µÄ¶¨Î»Îó²î 3.3µØ´Åµ¼º½ 3.3.1µØ´Åµ¼º½¸ÅÊö 3.3.2µØ´Å´«¸ÐÆ÷ 3.3.3µØ´Å²â×ËÔ­Àí 3.3.4µØ´Åµ¼º½µÄ·¢Õ¹·½Ïò 3.4¿¨¶ûÂüÂ˲¨ 3.4.1¿¨¶ûÂüÂ˲¨¸ÅÊö 3.4.2¿¨¶ûÂüÂ˲¨µÄ»ù±¾·½³Ì 3.4.3¿¨¶ûÂüÂ˲¨µÄÖ±¹Û½âÊÍ ¿¨¶ûÂüÂ˲¨Ê¾Àý¼°ÍØÕ¹ 3.5×éºÏµ¼º½ 3.5.1×éºÏµ¼º½¸ÅÊö 3.5.2¹ß/ÎÀÐÇ×éºÏµ¼º½µÄÔ­Àí 3.6С½á ²Î¿¼ÎÄÏ× µÚ4ÕºìÍâµ¼ÒýÍ· 4.1ºìÍâµ¼ÒýÍ·¸ÅÊö 4.1.1ºìÍâ¹â¼ò½é 4.1.2ºìÍâµ¼ÒýÍ·µÄÌصã 4.1.3ºìÍâµ¼ÒýÍ·µÄ·¢Õ¹Àú³Ì 4.2ºìÍâµ¼ÒýÍ·µÄ¼¼ÊõÖ¸±ê 4.3ºìÍâ̽²âÆ÷ 4.3.1ºìÍâ̽²âÆ÷µÄ·ÖÀà 4.3.2ºìÍâ̽²âÆ÷µÄÌصã 4.3.3ºìÍâ·ÇÖÆÀä̽²âÆ÷ 4.3.4ºìÍâÖÆÀä̽²âÆ÷ ¡­¡­ µÚ7ÕÂÖ´Ðлú¹¹ 7.1Ö´Ðлú¹¹µÄ·ÖÀà 7.2Æø¶¯Á¦Ö´Ðлú¹¹ 7.2.1»ù±¾ÒªÇó- 7.2.2¶æ»úµÄ·ÖÀà 7.2.3¶æ»úÌåÉè¼Æ 7.2.4¶æ»úµÄ·¢Õ¹Ç÷ÊÆ 7.3ÍÆÁ¦Ê¸Á¿Ö´Ðлú¹¹ 7.3.1ȼÆø¶æ 7.3.2ÈÅÁ÷Ƭ 7.3.3ʸÁ¿·¢¶¯»ú 7.4Âö³åʸÁ¿Ö´Ðлú¹¹ 7.4.1×Ë̬Âö³å¿ØÖÆ·½Ê½ 7.4.2¹ìµÀÂö³å¿ØÖÆ·½Ê½ 7.5±äÖÊÐÄÖ´Ðлú¹¹ 7.6µçϵͳ 7.6.1µçϵͳµÄÆðÔ´ 7.6.2µçϵͳµÄ×é³É¼°Ô­Àí µçϵͳµÄ·ÖÀà 7.6.4µçϵͳµÄÓ¦ÓÃÓë·¢Õ¹ ²Î¿¼ÎÄÏ× µÚ8Õ°ëʵÎï¼¼Êõ 8.1°ëʵÎï¸ÅÊö 8.2°ëʵÎï¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹Àú³Ì ÏàËÆÔ­Àí 8.4°ëʵÎïϵͳµÄ×é³É 8.5¼¤¹âÖƵ¼ÎäÆ÷°ëʵÎïϵͳ£¬ 8.5.1ϵͳ×é³É 8.5.2¼¤¹âÖƵ¼ÎäÆ÷°ëʵÎï·½°¸ µ¼µ¯-Ä¿±ê¼¸ºÎ¹Øϵ 8.5.4ÈëÍ«¼¤¹âµÄ¹âѧÌØ 8.5.5¼¸ºÎÎó²îµÄ·ÖÎöÓëУÕý 8.½áÓëÕ¹Íû ²Î¿¼ÎÄÏ× ;