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热丝化学气相沉积技术:technology and applications of Cat-CVD 版权信息
- ISBN:9787122456632
- 条形码:9787122456632 ; 978-7-122-45663-2
- 装帧:暂无
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>>
热丝化学气相沉积技术:technology and applications of Cat-CVD 内容简介
催化化学气相沉积(Cat-CVD)又名热丝化学气相沉积,可以在衬底温度低于300℃条件下获得器件级的高质量薄膜。本书系统介绍了Cat-CVD技术,包括其基本原理、设备设计及应用。具体包括Cat-CVD的物理基础及其与等离子增强化学气相沉积的区别、Cat-CVD 中化学反应的分析方法及基本原理、Cat-CVD 的物理化学基础、Cat-CVD制备的无机薄膜性能、引发化学气相沉积(iCVD)合成有机聚合物、Cat-CVD设备运行中的物理基础与技术、Cat-CVD 在太阳电池和各种半导体器件中的应用、Cat-CVD系统中的活性基团及其应用,*后介绍了利用Cat-CVD 腔室中产生的活性基团,在低温下进行半导体掺杂。 本书可供薄膜制备相关研发和技术人员参考使用,主要涉及半导体及薄膜太阳电池等领域。
热丝化学气相沉积技术:technology and applications of Cat-CVD 目录
热丝化学气相沉积技术:technology and applications of Cat-CVD 作者简介
松村英树(Hideki Matsumura),博士,日本北陆先端科学技术大学院大学(JAIST)材料科学学院荣誉教授。梅本弘宣(Hironobu Umemoto),博士,日本静冈大学工程学院化学与生物工程专业教授。卡伦·格利森(Karen K.Gleason),博士,美国麻省理工学院Alexander和I. Michael Kasser化学工程教授,副教务长。吕德·施罗普(Ruud E.I.Schropp),博士,荷兰埃因霍芬理工大学Solliance太阳能研究所高级研究员。黄海宾,江西汉可泛半导体技术有限公司董事长,国内知名异质结太阳电池专家,主要研究方向为太阳电池器件结构设计、模拟分析及产业化制备技术与装备,半导体薄膜制备技术与装备。沈鸿烈,南京航空航天大学教授,亚太材料科学院院士。主要从事光伏及半导体功能材料方面的研究。 Hironobu Umemoto,博士,日本北陆先端科学技术大学院大学材料学院名誉教授。 Hironobu Umemot, 博士,静冈大学工程学院化学与生物工程系教授博士,静冈大学工程学院化学与生物工程系教授。 Karen K. Gleason ,博士,美国麻省理工学院副教务长。 Ruud E. I. Schropp ,博士,荷兰埃因霍温 Solliance 太阳能研究公司研究员。 黄海宾,江西汉可泛半导体技术有限公司,董事长。南昌大学,教授 沈鸿烈,南京航空航天大学,教授。
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