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薄膜物理与器件
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薄膜物理与器件 版权信息
- ISBN:9787118072389
- 条形码:9787118072389 ; 978-7-118-07238-9
- 装帧:暂无
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:
薄膜物理与器件 内容简介
本书主要论述了薄膜物理与薄膜器件的基本内容,并概括介绍了在新材料技术领域中有着重要应用的几类主要的薄膜材料。书中比较系统地介绍了薄膜的物理化学制备原理与方法,包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术等;同时介绍了薄膜的形成,薄膜的结构与缺陷,薄膜的电学性质、力学性质、半导体性质、磁学性质、超导性质等;此外,还扼要介绍了几类重要薄膜材料及其性能,分析归纳了相关研究发展动态。
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