中图网

>

一般工业技术

聚焦离子束:应用与实践

作者：邓昱,魏大庆,王英,陈振

出版社：南京大学出版社出版时间：2023-12-01

开本：其他页数： 204

本类榜单：工业技术销量榜

中图价:¥49.0(7.2折) 定价 ~~¥68.0~~ 登录后可看到会员价

加入购物车收藏

运费6元，满39元免运费

?新疆、西藏除外

本类五星书更多>

>
湖南省志(1978-2002)?铁路志

湖南省志(1978-2002)?铁路志

¥70.6¥98
>
公路车宝典(ZINN的公路车维修与保养秘籍)

公路车宝典(ZINN的公路车维修与保养秘籍)

¥69.6¥120
>
晶体管电路设计(下)

晶体管电路设计(下)

¥28.6¥38
>
基于个性化设计策略的智能交通系统关键技术

基于个性化设计策略的智能交通系统关键技术

¥48.6¥68
>
德国克虏伯与晚清火:贸易与仿制模式下的技术转移

德国克虏伯与晚清火:贸易与仿制模式下的技术转移

¥21.8¥65
>
花样百出:贵州少数民族图案填色

花样百出:贵州少数民族图案填色

¥19.1¥45
>
识木:全球220种木材图鉴

识木:全球220种木材图鉴

¥159.6¥228

商品详情
商品评论(0条)

中图价:¥49.0 加入购物车

版权信息
内容简介
目录
作者简介

聚焦离子束:应用与实践版权信息

ISBN：9787305274091
条形码：9787305274091 ; 978-7-305-27409-1
装帧：平装-胶订
册数：暂无
重量：暂无
所属分类：
工业技术
>
一般工业技术

聚焦离子束:应用与实践内容简介

聚焦离子束（FocusedIonBeam，FIB）是微纳加工、芯片失效分析、微结构科学研究的核心技术装备之一。随着材料、器件的微尺度化（纳米甚至原子尺度）、高集成化（每平方厘米集成10亿个以上的功能单元）、多功能化（在多种外场条件下工作），越来越多的材料微结构研究、器件研发须使用聚焦离子束。全书共分七章，从聚焦离子束的结构原理出发，紧密结合应用与实践，对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述，并配有实际案例进行进一步详解。

聚焦离子束:应用与实践目录

**章聚焦离子束原理 1.1聚焦离子束的基本结构 1.1.1聚焦离子束的系统的分类 1.1.2离子枪的结构 1.1.3双束设备样品室布局与工作台 1.2离子束与材料的作用及离子束加工基本功能原理 1.2.1离子束与材料的作用 1.2.2聚焦离子束的主要功能第二章聚焦离子束诱导沉积 2.1FIB中的电子束与离子束诱导沉积 2.1.1电子束诱导沉积原理和技术特点 2.1.2离子束诱导沉积原理和技术特点 2.1.3离子束与电子束沉积的参数选择 2.2沉积层的电学特性 2.2.1离子束诱导沉积层的电学特性 2.2.2电子束诱导沉积保护层的电学特性 ……

展开全部