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MEMS技术及应用 版权信息
- ISBN:9787040504781
- 条形码:9787040504781 ; 978-7-04-050478-1
- 装帧:一般胶版纸
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>>
MEMS技术及应用 内容简介
本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述,并随之以对MEMS典型应用的分类介绍,为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸,纳机电系统和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材是本书的出发点,为达此目的,本书在内容安排上注意做到基础理论知识和具体技术细节并重,力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。
MEMS技术及应用 目录
MEMS技术及应用 作者简介
蒋庄德,中国工程院院士,西安交通大学教授,英国伯明翰大学博士、名誉教授,澳大利亚新南威尔士大学客座教授;教育部科学技术委员会副主任兼战略研究指导委员会主任,国务院学位委员会学科评议组成员,中国机械工程学会副理事长,中国微米纳米技术学会副理事长等;教育部“微纳制造与测试技术”国际联合实验室主任。 长期从事微纳制造与先进传感技术、精密超精密加工与测试技术及装备等方面的研究,在高端MEMS传感技术及系列器件、数字化精密测量以及超精密加T技术与装备等工程科技领域成果卓著,在微纳米技术相关基础理论和生物检测技术及仪器等方面开展了创新性研究。获国家技术发明二等奖2项,国家科技进步二等奖1项,其他省部级奖励9项;获首届全国创新争先奖,何梁何利科学与技术进步奖,西安交通大学研究生教育突出贡献奖。发表学术论文600余篇。
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