包邮半导体制造工艺控制理论

作者：王少熙[等]著

出版社：西北工业大学出版社出版时间：2017-01-01

开本：其他页数： 170

本类榜单：工业技术销量榜

中图价:¥38.7(7.9折) 定价 ~~¥49.0~~ 登录后可看到会员价

加入购物车收藏

开年大促， 全场包邮

?新疆、西藏除外

本类五星书更多>

>
公路车宝典(ZINN的公路车维修与保养秘籍)

公路车宝典(ZINN的公路车维修与保养秘籍)

¥69.6¥120
>
晶体管电路设计(下)

晶体管电路设计(下)

¥25.7¥38
>
基于个性化设计策略的智能交通系统关键技术

基于个性化设计策略的智能交通系统关键技术

¥34.3¥68
>
花样百出:贵州少数民族图案填色

花样百出:贵州少数民族图案填色

¥17.2¥45
>
山东教育出版社有限公司技术转移与技术创新历史丛书中国高等技术教育的苏化(1949—1961)以北京地区为中心

山东教育出版社有限公司技术转移与技术创新历史丛书中国高等技术教育的苏化(1949—1961)以北京地区为中心

¥12.7¥39
>
铁路机车概要.交流传动内燃.电力机车

铁路机车概要.交流传动内燃.电力机车

¥158.4¥198
>
利维坦的道德困境:早期现代政治哲学的问题与脉络

利维坦的道德困境:早期现代政治哲学的问题与脉络

¥31.9¥49

商品详情
商品评论(0条)

中图价:¥38.7 加入购物车

版权信息
内容简介
目录

半导体制造工艺控制理论版权信息

ISBN：9787561259535
条形码：9787561259535 ; 978-7-5612-5953-5
装帧：一般轻型纸
册数：暂无
重量：暂无
所属分类：
工业技术
>
电子通信

半导体制造工艺控制理论内容简介

稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数，特殊工序能力指数，常规过程控制技术，特殊过程控制技术，实验设计及工艺表征以及系统健康管理概念。

半导体制造工艺控制理论目录

第1章绪论 1.1 半导体制造工艺可靠性 1.2 传统可靠性方法存在的问题 1.3 实现高可靠性的新思路 1.4 半导体制造工艺控制流程参考文献第2章单变量工序能力指数 2.1 工序能力指数 2.2 工序能力指数与成品率关系 2.3 非正态工序能力指数 2.4 截尾样本的成品率分析参考文献第3章多变量工序能力指数 3.1 空间定义多变量工序能力指数 3.2 成品率多变量工序能力指数 3.3 权重系数多变量工序能力指数参考文献第4章过程控制技术 4.1 SPC技术概述 4.2 SPC基本概念 4.3 控制图理论 4.4 常规控制图技术 4.5 过程受控判断规则 4.6 多变量控制图模块参考文献第5章特殊过程控制技术 5.1 多品种小批量生产环境的质量控制 5.2 T-K控制图性能分析参考文献第6章实验设计和工艺表征 6.1 概述 6.2 统计表征与优化的技术框架 6.3 热氧化工艺设备统计表征与优化 6.4 等离子体刻蚀工艺设备的统计表征与优化参考文献

展开全部

商品评论(0条)

写书评赚书币

暂无评论……

书友推荐

>
唐代进士录
唐代进士录
陶易
¥16.1~~¥39.8~~
>
新文学天穹两巨星--鲁迅与胡适/红烛学术丛书(红烛学术丛书)
新文学天穹两巨星--鲁迅与胡适/红烛学术丛书(红烛学术丛书)
易竹贤
¥9.9~~¥23.0~~
>
诗经-先民的歌唱
诗经-先民的歌唱
裴溥言
¥14.5~~¥39.8~~
>
企鹅口袋书系列·伟大的思想20:论自然选择(英汉双语)
企鹅口袋书系列·伟大的思想20:论自然选择(英汉双语)
[英] 达尔文著，朱邦芊译
¥6.3~~¥14.0~~
>
随园食单
随园食单
袁枚
¥16.4~~¥48.0~~
>
名家带你读鲁迅:朝花夕拾
名家带你读鲁迅:朝花夕拾
鲁迅著，陈漱渝主编
¥10.5~~¥21.0~~
>
回忆爱玛侬
回忆爱玛侬
[日]梶尾真治著，王玮译
¥24.0~~¥32.8~~
>
名家带你读鲁迅:故事新编
名家带你读鲁迅:故事新编
鲁迅著，陈漱渝主编
¥13.0~~¥26.0~~