-
>
湖南省志(1978-2002)?铁路志
-
>
公路车宝典(ZINN的公路车维修与保养秘籍)
-
>
晶体管电路设计(下)
-
>
基于个性化设计策略的智能交通系统关键技术
-
>
德国克虏伯与晚清火:贸易与仿制模式下的技术转移
-
>
花样百出:贵州少数民族图案填色
-
>
识木:全球220种木材图鉴
微机电系统设计与激光-机械设计手册单行本-第5版 版权信息
- ISBN:9787111491507
- 条形码:9787111491507 ; 978-7-111-49150-7
- 装帧:一般胶版纸
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>
微机电系统设计与激光-机械设计手册单行本-第5版 本书特色
本单行本为《微机电系统设计与激光》,主要介绍微机电系统基本概念与应用领域、微机电系统制造、微机电系统设计、微机电系统实例等;激光加工概论(激光器基础、加工中常用的激光器、激光加工物理基础)、激光打孔、激光切割、激光焊接、激光淬火、激光熔覆与合金化、激光冲击强化、激光在其它机械工程领域的应用、激光加工的安全防护等。
微机电系统设计与激光-机械设计手册单行本-第5版 内容简介
《机械设计手册第5版 单行本》系列图书是以曾荣获中国出版政府奖提名奖,中国机械工业科学技术奖一等奖等国家及行业重量级奖项的《机械设计手册第5版》为基础,本着方便读者查阅、降低读者购买成本为宗旨而出版的经典再版图书。本套丛书共38分册,内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容,具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。 本书供从事机械设计、制造、维修及有关工程技术人员作为工具书使用,也可供大专院校的有关专业师生使用和参考。
微机电系统设计与激光-机械设计手册单行本-第5版 目录
第5版前言
第29篇 微机电系统及设计
第1章 微机电系统概述
1 基本概念
1.1 微传感器
1.2 微执行器
1.3 微机电系统的基本特征
1.4 微机电系统和微电子的比较
2 微机电系统发展历程
3 微机电系统及相关技术
3.1 微机电系统组成
3.2 微机电系统设计
3.3 微机电系统制造
3.4 微机电系统封装
3.5 微机电系统装配
3.6 系统封装(sip)
3.7 微机电系统可靠性
3.8 微机电系统测试
4 微机电系统应用领域
4.1 微机电系统在汽车中的应用
4.2 微机电系统在医疗和生命科学领
域的应用
4.3 微机电系统在航天工业的应用
4.4 微机电系统在电信领域中的应用
第2章 微机电系统制造
1 体硅微机械加工技术
1.1 硅晶体的描述
1.2 各向同性腐蚀
1.3 各向异性腐蚀
1.3.1 不同腐蚀液中的腐蚀速率
1.3.2 腐蚀速率与温度的关系
1.3.3 腐蚀速率与腐蚀液含量的关系
1.3.4 腐蚀速率与衬底掺杂浓度的
关系
1.3.5 不同腐蚀液中的腐蚀表面状况
1.3.6 各向异性腐蚀加工技术中的
凸角补偿方法
1.4 深反应离子刻蚀
1.4.1 刻蚀原理
1.4.2 载片台温度与sf6/o2配比
的影响
1.4.3 sf6流量与icp功率的影响
1.4.4 滞后效应和凹缺效应
1.4.5 深反应离子刻蚀工艺优化
1.5 硅直接键合技术
1.5.1 硅直接键合技术的分类
1.5.2 键合前的清洗
1.5.3 键合表面的活化
1.5.4 平整度对键合的影响
1.5.5 键合后的热处理
1.5.6 键合质量的表征
2 表面微机械加工技术
2.1 表面微机械加工的薄膜材料及其
特性
2.1.1 多晶硅
2.1.2 氧化硅
2.1.3 氮化硅
2.1.4 其他表面微机械加工材料
2.2 牺牲层释放腐蚀技术
2.2.1 氧化硅牺牲层的腐蚀
2.2.2 粘附问题及其解决方案
2.3 标准化的表面微机械加工工艺
2.3.1 mumps加工工艺
2.3.2 summittm-v加工工艺
3 玻璃微机械加工技术
3.1 湿法刻蚀
3.2 干法刻蚀
4 uv-liga技术
5 其他微机械加工技术
6 微机电系统制造工艺优先
第3章 微机电系统设计
1 设计工具
2 微机械润滑
3 静电执行器
4 压电执行器
5 热执行器
6 热气动和相变执行器
7 磁执行器
8 执行器比较
第4章 微机电系统实例
1 微机械压力传感器
2 微机械惯性传感器
3 微滴发生器
4 微流控芯片
5 微机械装置
6 微机器人
参考文献
第31篇 激光及其在机械工程中的应用
第1章 激光加工概论
1 激光机基础
2 加工中常用的激光器
3 激光加工物理基础
第2章 激光打孔
1 激光打孔的特点与分类
2 激光打孔的原理及物理过程
3 激光打孔工艺参数
4 激光打孔的质量检验
第3章 激光切割
1 激光气割机理
2 激光切割质量
3 影响激光切割质量的因素
4 常用工程材料的激光切割
第4章 激光焊接
1 激光焊接原理与分类
2 激光热传导焊接
3 激光深熔焊接
4 激光焊接中常出现的问题
5 典型材料的机关焊接
第5章 激光淬火
1 激光淬火原理与特点
2 激光淬火质量
3 激光淬火工艺及参数
第6章 激光熔覆于合金化
1 激光熔覆于合金化的基础
2 激光熔覆
3 激光合金化
4 激光熔覆于合金化的质量控制
第7章 激光冲击强化
1 概述
2 激光冲击过程机理
3 激光冲击的两种模型
4 涂层和约束涂层技术
5 激光冲击设备
6 典型材料的激光冲击强化效果
第8章 激光在其他机械工程领域的应用
1 激光板料成形
2 激光毛化
3 激光标记
4 激光表面非晶化
5 激光清洗
6 激光全息干涉无损检测技术
第9章 激光加工的安全防护
1 激辐射的危害
2 使用激光时伴随的危害
3 激光安全防护标准
4 激光危害分类
5 激光危害的工程控制
参考文献
微机电系统设计与激光-机械设计手册单行本-第5版 作者简介
闻邦椿,现为东北大学教授、博士研究生导师、东北大学机械设计及理论研究所名誉所长,东北大学 “重大机械装备设计与制造关键共性技术创新平台”985工程建设的首席教授。2007年当选为中国科学院院士。现任国际转子动力学技术委员会委员、国际机器理论与机构学联合会中国委员会委员。
-
机械电子工程设计
¥14¥29 -
阀门设计技术选编
¥80¥100 -
现代制造技术
¥30¥43 -
普通高等教育“十一五”国家级规划教材:轮机自动化
¥16.4¥38 -
液压维修1000问第2版
¥133.5¥169 -
利维坦的道德困境:早期现代政治哲学的问题与脉络
¥36.3¥49