扫一扫
关注中图网
官方微博
本类五星书更多>
-
>
湖南省志(1978-2002)?铁路志
-
>
公路车宝典(ZINN的公路车维修与保养秘籍)
-
>
晶体管电路设计(下)
-
>
基于个性化设计策略的智能交通系统关键技术
-
>
德国克虏伯与晚清火:贸易与仿制模式下的技术转移
-
>
花样百出:贵州少数民族图案填色
-
>
识木:全球220种木材图鉴
薄膜材料制备原理、技术及应用(第2版) 版权信息
- ISBN:7502430970
- 条形码:9787502430979 ; 978-7-5024-3097-9
- 装帧:简裝本
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>
薄膜材料制备原理、技术及应用(第2版) 内容简介
本书讨论了薄膜材料制备技术中常用的真空技术、各种物理化学气相沉积技术、薄膜材料的微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法。
薄膜材料制备原理、技术及应用(第2版) 目录
1 薄膜制备的真空技术基础
1.1 气体分子运动论的基本概念
1.2 气体的流动状态和真空抽速
1.3 真空泵简介
1.4 真空的测量
参考文献
2 薄膜的物理气相沉积(Ⅰ)——蒸发法
2.1 物质的热蒸发
2.2 薄膜沉积的厚度均匀性和纯度
2.3 真空蒸发装置
参考文献
3 薄膜的物理气相沉积(Ⅱ)——溅射法及其他PVD方法
3.1 气体放电现象与等离子体
3.2 物质的溅射现象
3.3 溅射沉积装置
3.4 其他物理气相沉积方法
参考文献
4 薄膜的化学气相沉积
4.1 化学气相沉积反应的类型
4.2 化学气相沉积过程的热力学
4.3 化学气相沉积过程的动力学
4.4 CVD薄膜沉积过程的数值模拟
4.5 化学气相沉积装置
4.6 等离子体辅助化学气相沉积技术
参考文献
5 薄膜的生长过程和薄膜结构
5.1 薄膜生长过程概述
5.2 新相的自发形核理论
5.3 薄膜的非自发形核理论
5.4 连续薄膜的形成
5.5 薄膜生长过程与薄膜结构
5.6 非晶薄膜
5.7 薄膜结构
5.8 薄膜的外延生长
5.9 薄膜中的应力和薄膜的附着力
参考文献
6 薄膜材料的表征方法
7 薄膜材料及其应用
1.1 气体分子运动论的基本概念
1.2 气体的流动状态和真空抽速
1.3 真空泵简介
1.4 真空的测量
参考文献
2 薄膜的物理气相沉积(Ⅰ)——蒸发法
2.1 物质的热蒸发
2.2 薄膜沉积的厚度均匀性和纯度
2.3 真空蒸发装置
参考文献
3 薄膜的物理气相沉积(Ⅱ)——溅射法及其他PVD方法
3.1 气体放电现象与等离子体
3.2 物质的溅射现象
3.3 溅射沉积装置
3.4 其他物理气相沉积方法
参考文献
4 薄膜的化学气相沉积
4.1 化学气相沉积反应的类型
4.2 化学气相沉积过程的热力学
4.3 化学气相沉积过程的动力学
4.4 CVD薄膜沉积过程的数值模拟
4.5 化学气相沉积装置
4.6 等离子体辅助化学气相沉积技术
参考文献
5 薄膜的生长过程和薄膜结构
5.1 薄膜生长过程概述
5.2 新相的自发形核理论
5.3 薄膜的非自发形核理论
5.4 连续薄膜的形成
5.5 薄膜生长过程与薄膜结构
5.6 非晶薄膜
5.7 薄膜结构
5.8 薄膜的外延生长
5.9 薄膜中的应力和薄膜的附着力
参考文献
6 薄膜材料的表征方法
7 薄膜材料及其应用
展开全部
书友推荐
- >
龙榆生:词曲概论/大家小书
龙榆生:词曲概论/大家小书
¥9.9¥24.0 - >
【精装绘本】画给孩子的中国神话
【精装绘本】画给孩子的中国神话
¥17.6¥55.0 - >
上帝之肋:男人的真实旅程
上帝之肋:男人的真实旅程
¥19.3¥35.0 - >
人文阅读与收藏·良友文学丛书:一天的工作
人文阅读与收藏·良友文学丛书:一天的工作
¥17.9¥45.8 - >
新文学天穹两巨星--鲁迅与胡适/红烛学术丛书(红烛学术丛书)
新文学天穹两巨星--鲁迅与胡适/红烛学术丛书(红烛学术丛书)
¥9.9¥23.0 - >
随园食单
随园食单
¥17.8¥48.0 - >
月亮虎
月亮虎
¥14.9¥48.0 - >
莉莉和章鱼
莉莉和章鱼
¥17.6¥42.0
本类畅销
-
黑科技驱动世界的100项技术
¥21.9¥69.8 -
黑科技:驱动世界的100项技术(八品)
¥21.9¥69.8 -
指火控弹道与射击诸元理论
¥38.7¥49 -
智能照明工程手册
¥29.9¥49.8 -
光电直读光谱分析技术与应用
¥38.7¥49 -
服务型制造
¥76.3¥109