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机械仪表工业

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机械零件及传动装置

硅微机械传感器

作者：埃尔文斯波克(ElwenspoekM.)

出版社：中国宇航出版社出版时间：2003-10-10

开本： 大32开 页数： 306

本类榜单：工业技术销量榜

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版权信息
内容简介
目录

硅微机械传感器版权信息

ISBN：7801446062
条形码：9787801446060 ; 978-7-80144-606-0
装帧：精裝本
册数：暂无
重量：暂无
所属分类：
工业技术
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机械零件及传动装置

硅微机械传感器内容简介

《硅微机械传感器》详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。因为设计和制造传感器需要多学科的知识，只有经过电学、机械工程、物理和化学培训的工程师才能够进入这个领域并胜任此项工作。为了满足这个需求，《硅微机械传感器》从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，并用压力传感器、力学传感器、加速度计、陀螺和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。

硅微机械传感器目录

第1章引言第2章 MEMS 2.1 微型化和系统 2.2 MEMS的例子 2.3 大和小：按比例缩小 2.4 已有的制造技术第3章硅微机械加工工艺 3.1 光刻 3.2 薄膜淀积和掺杂 3.3 湿法化学腐 3.4 圆片键合 3.5 等离子体刻蚀 3.6 面微机械加工工艺第4章梁和膜的力学 4.1 质量块-弹簧系统的动力学 4.2 弦 4.3 梁 4.4 膜片和薄膜第5章机械量的测量原理：形变的转换 5.1 金属应变片 5.2 半导体应变片 5.3 电容式传感器第6章力和压力传感器 6.1 力传感器 6.2 压力传感器第7章加速度和角速度传感器 7.1 加速度传感器 7.2 角速度传感器第8章流体传感器 8.1 层状流边界层 8.2 限于很小雷诺数情况下的热传输 8.3 热流体传感器 8.4 表层摩擦力传感器 8.5 “干流体”传感器 8.6 “湿流体”传感器第9章谐振传感器……第10章电子电路接口第11章封装附录英汉名词对照参考文献

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